SEM-EDS分析
光电联用,
滤膜分析,
操作模式,
能谱和材料数据库
JOMESA PSE: 材料分析 |
JOMESA PSE 提供3种操作模式:
手动模式
基于尺寸测量的联用模式
SEM-EDS
滤膜分析模式
1.
手动模式:
调取JOMESA
HFD光学显微镜采集的数据,挑选“感兴趣的颗粒”。用JOMESA
PSE 扫描电镜(SEM)采集颗粒影像并使用能谱仪(EDS)分析其元素。
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2. 基于尺寸测量的联用模式:
该模式下JOMESA
PSE系统会基于JOMESA
HFD系统的分析结果中已分类的颗粒尺寸等级进行分析。例如:EDS分析所有>400μm的金属颗粒。
分析结果有多种显示方式:其中一种是生成如下的二维合金尺寸图。
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3.
SEM 滤膜分析模式:
该模式下系统会选定滤膜的某个区域(或是整张滤膜),使用BSE探测器扫描并成像:无机物颗粒在相对深色的有机滤膜背景上更显明亮。 |
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通过图像分析,依据颗粒尺寸分级,对每个颗粒都会有进行EDS能谱探测。 |
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尺寸分析和EDS分析后,这些颗粒将被按照尺寸等级和化合物(合金)进行分类。 |
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